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NanoClean 納米等離子清洗儀

型號:1070

多功能:能夠同時清洗樣品、樣品桿及各類樣品臺
電感耦合方式激發等離子體,采用downstream 處理去除離子及電子成分
無濺射效應,不改變樣品本身化學組成及結構
可同時清洗兩根透射電鏡樣品桿
適配所有品牌所有型號透射電鏡樣品桿
滿足光闌等各類大樣品及電鏡部件清洗,且有專門光闌清洗所需的載臺
可同時通入三路氣體,且可以任意組分任意比例進行自動混合
觸屏控制操作方便
快速真空換樣設計
  • 產品特點
  • 產品應用
  • 產品圖庫
納米等離子清洗儀用來在樣品或樣品桿在插入電鏡之前對其進行及時有效清洗,去除樣品表面碳氫污染物,防止在觀察和分析過程中發生積碳現象。

 

清洗大樣品及碳膜

除了傳統透射電鏡清洗應用之外,其他諸如半導體晶圓或掃描電子顯微鏡(SEM)、原子力顯微鏡(ATM)或二次離子質譜儀(SIMS)等分析設備的樣品及樣品臺也需要進行清洗。

對于生物透射電鏡用戶來說,需要利用等離子清洗對購買的碳膜進行清洗去除污染,同時經過等離子清洗的碳膜可以增加其親水性。

 

觸屏操作界面

 

 

上圖為利用無濺射效應的納米等離子清洗儀對多孔碳膜進行180秒清洗,可去除碳膜上的污染物,增加碳膜的親水性。

清洗條件:180 秒(配合專用配套清洗夾具),采用5% 氧氣 / 95% 氬氣 功率40W

 

Model 1070 納米等離子清洗儀技術規格

等離子系統

高頻 (13.56 MHz) 電源放大在石英管和不銹鋼組成的腔體內電感耦合誘導產生等離子體經過Downstream區域的等離子體能量小于12eV自動匹配,確保高頻電源提供的能量有限耦合于等離子體適配所有品牌所有型號電鏡樣品桿使用

真空系統

無油干泵加分子泵

配備預換樣室

極限真空 1 x 10 -6 mbar

樣品艙

可同時插入兩根樣品桿

腔體尺寸為 3.5 in (8.9 cm) 直徑

配有觀察窗

氣源

具備三種氣體通道;通常使用10 psi (200 kPa)

人機界面

可編程式觸屏控制系統具有配方操作模式

尺寸

69 cm(W) x 56 cm(H)x 59 cm(D)

重量

73 kg

電源

220V AC, 單相, 660 W

保修期

一年

 

配套銅網清洗夾具 金標樣清洗前后對比 多孔碳膜清洗專用樣品臺,可以一次性清洗10個
應用更新中...
圖庫更新中...

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