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      1. 產品中心

        PRODUCT CENTER

        移動式等離子清洗系統

        型號:MCA

        1、采用專利DownStream設計,等離子體中不含任何電荷及離子態物質,防止對樣品表面的濺射損傷;
        2、ICP誘導激發等離子體,等離子體量大,且作用范圍廣;
        3、可同時清洗3根透射電鏡樣品桿,支持ThermoFisher/JEOL/Hitachi全系列樣品桿;
        4、采用Qwk-Switch快接口設計,等離子發生器可以直接接入其他真空腔體進行在線清洗,一機多用;
        5、清洗功率范圍:10W-99W,樣品清洗艙大?。?英寸(φ)* 7英寸(H);
        6、可直接利用O2或Ar清洗碳膜...
        • 產品特點
        • 產品應用
        • 產品圖庫

        技術優勢:

        1、采用專利DownStream設計,等離子體中不含任何電荷及離子態物質,防止對樣品表面的濺射損傷;

        2、ICP誘導激發等離子體,等離子體量大,且作用范圍廣;

        3、可同時清洗3根透射電鏡樣品桿,支持ThermoFisher/JEOL/Hitachi全系列樣品桿;

        4、采用Qwk-Switch快接口設計,等離子發生器可以直接接入其他真空腔體進行在線清洗,一機多用;

        5、清洗功率范圍:10W-99W,樣品清洗艙大?。?英寸(φ) X 7英寸(H);

        6、可直接利用O2或Ar清洗碳膜;

        7、配備真空探測系統,可設定真空范圍自動進行清洗;

        8、清洗速率:1.5nm/min@30W, 清洗去除為線性模式,可定量化去除污染 。

         

        透射電鏡多孔碳膜清洗,使用氣體為O2

        TEM Carbon film cleaning time: a-0s, b-240s, c-480s, d-720s

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        圖庫資料更新中...

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