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移動式等離子清洗系統

型號:MCA

1、采用專利DownStream設計,等離子體中不含任何電荷及離子態物質,防止對樣品表面的濺射損傷;
2、ICP誘導激發等離子體,等離子體量大,且作用范圍廣;
3、可同時清洗3根透射電鏡樣品桿,支持ThermoFisher/JEOL/Hitachi全系列樣品桿;
4、采用Qwk-Switch快接口設計,等離子發生器可以直接接入其他真空腔體進行在線清洗,一機多用;
5、清洗功率范圍:10W-99W,樣品清洗艙大?。?英寸(φ)* 7英寸(H);
6、可直接利用O2或Ar清洗碳膜...
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技術優勢:

1、采用專利DownStream設計,等離子體中不含任何電荷及離子態物質,防止對樣品表面的濺射損傷;

2、ICP誘導激發等離子體,等離子體量大,且作用范圍廣;

3、可同時清洗3根透射電鏡樣品桿,支持ThermoFisher/JEOL/Hitachi全系列樣品桿;

4、采用Qwk-Switch快接口設計,等離子發生器可以直接接入其他真空腔體進行在線清洗,一機多用;

5、清洗功率范圍:10W-99W,樣品清洗艙大?。?英寸(φ) X 7英寸(H);

6、可直接利用O2或Ar清洗碳膜;

7、配備真空探測系統,可設定真空范圍自動進行清洗;

8、清洗速率:1.5nm/min@30W, 清洗去除為線性模式,可定量化去除污染 。

 

透射電鏡多孔碳膜清洗,使用氣體為O2

TEM Carbon film cleaning time: a-0s, b-240s, c-480s, d-720s

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