Fischione NanoMill FIB樣品精修系統應用培訓第一站--西安站 | 圓滿落幕

  FIB作為目前首選的透射電鏡樣品制備儀器，其定點制備及可控制備的優點受到電鏡研究者的高度認可，但隨著透射電鏡分辨率進入亞埃時代，FIB制樣時高能鎵離子對材料轟擊產生的非晶層以及鎵離子注入問題受到越來越多的關注。另外，隨著半導體制程尺度不斷縮小，要求制備的透射電鏡樣品越來越薄，而常規FIB制備超薄TEM樣品時，隨著厚度減小，會產生卷邊現象，從而制備20nm以下均勻厚度的樣品變得越來越困難。同時為了獲得更好的原子像以及更好的EELS分析信號，同樣要求制備超薄無損的TEM薄片。
       Fischione NanoMill微束定點精修系統作為去除常規FIB制樣產生的非晶層、鎵離子注入問題以及制備超薄TEM樣品的技術優勢越來越受到認可，為了讓中國廣大電鏡科研用戶更深入了解本產品的性能及特色，上海微納國際貿易有限公司聯合西安交通大學材料學院，借助西交大現有Fischione NanoMill 等設備，于2020年9月28日在西交大興慶校區舉辦Fischione NanoMill FIB樣品精修系統應用培訓。來自西安交通大學、北京理工大學、北京工業大學、西北大學、吉林大學、沙鋼研究院等單位參加了本次培訓，培訓分為理論講解和實際上機操作演示，我司售后經理王佳慶經理對現場的用戶老師進行了專業的培訓和應用指導。主要針對材料預處理方式以及設備使用過程中的一些技巧問題做出了專業的指導，培訓會議取得圓滿成功。
        目前西安交通大學材料學院配有Fischione 超聲波切割機、精密凹坑儀、精密離子減薄儀、等離子清洗儀及NanoMill微束定點精修系統。